微小氣體流(liu)量計,MF4001氣體流量(liang)計
産品時間：2025-12-01
簡(jiǎn)要描述：
微小氣(qì)體流量計,MF4001氣體(ti)流量計是廣州(zhōu)迪川儀器儀💯表(biǎo)有限公司專門(mén)爲各類小流量(liàng)氣體的測量和(he)過程控❗制而🌈設(she)計的。這一系列(liè)傳感器均采用(yong)本公司自主研(yan)發的微機電系(xì)統（MEMS）流量傳感芯(xīn)片來制作，适🏃♂️用(yong)于各類清潔氣(qi)體。*的封裝技術(shù)使之可用于各(gè)類⭐管徑，成本低(dī)㊙️、易安裝、不需要(yào)溫度壓力補償(chang)，可替代🌈容積式(shi)或壓差式的傳(chuan)統流量傳感器(qi)。
微小氣體流量(liang)計,MF4001氣體流量計(jì)
産品簡介(jie)：
FS4001系列小流(liú)量氣體質量流(liú)量傳感器是廣(guang)州迪川儀器儀(yi)🧡表有限🐪公司專(zhuān)門爲各類小流(liú)量氣體的測量(liang)和過程控制而(er)設計💘的。這一系(xì)列傳感器均采(cǎi)用本公司自主(zhu)研發的微機電(diàn)系統（
MEMS）流量(liàng)傳感芯片來制(zhi)作，适用于各類(lei)清潔氣體。*的封(fēng)裝技術使之可(ke)用于各類管徑(jing)，成本低、易安裝(zhuang)、不需⛹🏻♀️要溫度壓(yā)力補償，可替代(dai)容積式或壓差(cha)式的傳統🙇🏻流量(liang)傳感器。
産(chǎn)品特點：
微小氣(qi)體流量計,MF4001氣體(ti)流量計
- 傳(chuán)感器靈敏度高(gao)
,有極小的(de)始動流量
- 傳感器芯片采(cai)用熱質量流量(liang)計量
,無需(xu)溫度壓力補償(cháng)
,
- 感器的高(gao)精度計量
- 在單個芯片上(shang)實現了多傳感(gan)器集成
,使(shi)傳感器的量程(cheng)比大大提高
- 傳感器的零(líng)點穩定度高
- 全量程高穩(wěn)定性
- 全量(liang)程高精确度和(he)優良的重複性(xìng)
- 低功耗
- 低壓損
- 響應時間快
主要參數：
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性能參數 |
FS4001 |
單位 |
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通(tong) 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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zui大(da)流量 |
30, 100, 200 |
SLPM |
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量程(cheng)比 |
2132132132131231312100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複性(xìng) |
0.25 |
%讀數 |
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零點輸出飄移(yí) |
±30 |
mV |
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輸出飄移(yi) |
±0.12 |
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響應時間(jian) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源(yuán) |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式(shi) |
RS232/模拟電壓 0.5~4.5Vdc |
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zui大流量壓損 |
350 |
pa |
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zui大工作壓力(li) |
0.5 |
MPa |
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工作溫度(du) |
-10 ~ +55 |
oC |
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-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度(du) |
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可拆(chai)式軟管接頭 |
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校準方式 |
空氣（或其他(ta)氣體）， 20oC， 101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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訂貨(huo)詳情請： 85628522
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